影響變送器精度的因素

1) 溫度偏差
對(duì)差動(dòng)靜電電容式壓力傳感器而言，由于其屬于布局型傳感器，加之接納對(duì)稱丈量室布局，故在一樣通常應(yīng)用場(chǎng)所對(duì)其精度影響較小，可以紕漏不計(jì)。
硅擴(kuò)散式壓力傳感器屬于物性型傳感器，固然因其高敏捷度及簡(jiǎn)樸的布局而得到了遍及應(yīng)用并成為壓力傳感器聽生長(zhǎng)趨向之一。但也存在著溫度我差的嚴(yán)峻缺點(diǎn)，因而在利用中必須消除溫度變革造成的偏差。溫度對(duì)硅擴(kuò)散式壓力傳感器的影響重要是造成零點(diǎn)溫漂和敏捷度溫漂。零點(diǎn)溫漂是由于傳感器感壓膜片上擴(kuò)散的各電阻條其溫度特性差別等而孕育發(fā)生，對(duì)外則體現(xiàn)為變送器的零點(diǎn)輸出隨溫度的變革而變革。敏捷度溫漂則是各電阻條的壓阻系數(shù)隨溫度變革差別等造成，對(duì)外體現(xiàn)為變送器的輸出特性曲線的斜率是溫度的函數(shù)。

2) 靜壓偏差
靜壓偏差是指在差壓式變送器中靜壓變革對(duì)差壓輸出的影響。對(duì)付差消息電電容式壓力傳感器，由于是兩室丈量布局，則兩丈量室不大概制造得完全對(duì)稱。同時(shí)施加在丈量室上的靜壓一定會(huì)對(duì)其造成影響。一樣通常環(huán)境下通過進(jìn)步制造加工精度來只管即便減小靜壓偏差，沒有別的有用的賠償措施。對(duì)硅擴(kuò)散式壓力傳感器有關(guān)研究評(píng)釋，靜壓重要影響變送器的零點(diǎn)輸出，而對(duì)變送器的敏捷度影響則可紕漏不計(jì)。

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